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酸化物薄膜の結晶工学 : 強誘電体メモリ、光ICなど新しいデバイスのためのキーマテリアルとして 第11回結晶工学シンポジウム <AP 952215>
応用物理学会結晶工学分科会 編、応用物理学会結晶工学分科会、1995.7
66p 26cm