プラズマ/プロセスの原理

書籍データ

Principles of plasma discharges and materials processing

著者名：Michael A.Lieberman, Allan J.Lichtenberg 著 ; 堀勝 監修 ; 佐藤久明 訳他の作品を見る

出版社：EDリサーチ社

発売日：2001.11

21, 430p 26cm

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