プラズマ/プロセスの原理 第2版.

書籍データ

Principles of plasma discharges and materials processing.2nd ed

著者名：Michael A.Lieberman, Allan J.Lichtenberg 著 ; 佐藤久明 訳 ; 堀勝 監修他の作品を見る

出版社：丸善

発売日：2010.1

612p 26cm

ISBN：978-4-621-08223-2