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単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

書籍データ

平成13年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

著者名:近藤博基 [ほか著]他の作品を見る

出版社:者不明

発売日:2005.4

98p 30cm

ISBN:

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