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高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

高誘電率絶縁薄膜中の欠陥の研究

書籍データ

平成15年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

著者名:研究代表者 廣瀬和之他の作品を見る

出版社:廣瀬和之

発売日:2006.3

42p 30cm

ISBN:

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