実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

書籍データ

著者名：齋藤文良, 多賀康訓 編他の作品を見る

出版社：エヌ・ティー・エス 技術教育

発売日：2009.8

416p 27cm

ISBN：978-4-907837-18-1