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超精密平面と面粗さ＜次世代の超精密加工技術＞

超精密平面と面粗さ＜次世代の超精密加工技術＞

書籍データ

著者名：次世代の超精密加工技術編集委員会編集他の作品を見る

出版社：産業技術サービスセンター

発売日：1993.10

397p 27cm

ISBN：4915957225

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