形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360063)

著者名：高偉研究代表他の作品を見る

出版社：高偉

発売日：2005.3

83p 30cm

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