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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 = Integration technology for heterogeneous advanced devices : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 ＜新材料・新素材シリーズ＞

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 = Integration technology for heterogeneous advanced devices : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 ＜新材料・新素材シリーズ＞

書籍データ

Integration technology for heterogeneous advanced devices

著者名：益一哉, 年吉洋, 町田克之 監修他の作品を見る

出版社：シーエムシー

発売日：2012.11

279p 27cm

ISBN：978-4-7813-0586-8

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