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「平行平板型高周波放電プラズマ装置の特性と硬質炭素膜の形成過程に関する研究」の検索結果

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平行平板型高周波放電プラズマ装置の特性と硬質炭素膜の形成過程に関する研究

平行平板型高周波放電プラズマ装置の特性と硬質炭素膜の形成過程に関する研究

平行 平板型 高周波 放電 プラズマ 装置 特性 硬質 炭素 膜 形成 過程

立田利明[著]、立田利明、1994

125p 31cm

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