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プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー <CMCテクニカルライブラリー 252> 普及版
プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー
上條榮治 監修、シーエムシー、2007.3
316p 21cm
978-4-88231-915-3