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高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 <課題研究成果報告書 2000>

高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 <課題研究成果報告書 2000>

書籍データ

Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits

著者名:伊藤吾朗 ほか著他の作品を見る

出版社:軽金属奨学会

発売日:2000.6

123p 30cm

ISBN:

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