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シリコンマイクロ加工の基礎

シリコンマイクロ加工の基礎

書籍データ

Silicon micromachining

著者名:M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著 ; 田畑修, 佐藤一雄 訳他の作品を見る

出版社:シュプリンガー・フェアラーク東京

発売日:2001.12

431p 27cm

ISBN:4431709347

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