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Silicon micromachining
著者名:M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著 ; 田畑修, 佐藤一雄 訳他の作品を見る
出版社:シュプリンガー・フェアラーク東京
発売日:2001.12
431p 27cm
ISBN:4431709347