極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性 : 薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 : 第9回研究会 ＜AP 042202＞

書籍データ

著者名：応用物理学会薄膜・表面物理分科会, 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 編他の作品を見る

出版社：応用物理学会薄膜・表面物理分科会

発売日：2004.1

361p 26cm

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