ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

書籍データ

Nanoscale servo control

著者名：山口高司, 平田光男, 藤本博志 編著他の作品を見る

出版社：東京電機大学出版局

発売日：2007.10

280p 22cm

ISBN：978-4-501-11350-6