パルス放電を用いたプラズマCVDによるダイヤモンド膜の作成

書籍データ

Formation of diamond films by intermittent discharge plasma CVD Formation of diamond films by intermittent discharge plasma Chemical Vapor Deposition

著者名：研究代表者: 野田三喜男他の作品を見る

出版社：野田三喜男

発売日：1995

1 v. 31 cm

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