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A study on metal-organic chemical vapor deposition of copper thin films using in situ fourier-transform infrared spectroscopy

A study on metal-organic chemical vapor deposition of copper thin films using in situ fourier-transform infrared spectroscopy

書籍データ

著者名：[by] Ken-ichi Hanaoka他の作品を見る

出版社：Kyoto Institute of Technology, [Ken-ichi Hanaoka

発売日：1995

179 p. 30 cm

ISBN：

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