マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

書籍データ

平成7年度-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 樋口俊郎他の作品を見る

出版社：樋口俊郎

発売日：1998.3

[1冊] 30cm

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