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ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

ヘリコン波放電型酸素・フッ素負イオン源の開発

書籍データ

平成7~9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

著者名:門田清 [ほか著]他の作品を見る

出版社:者不明

発売日:1998.3

76p 30cm

ISBN:

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