微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化

書籍データ

平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号;07650306)

著者名：小寺秀俊研究代表他の作品を見る

出版社：小寺秀俊

発売日：1998.3

145, [28], 462-463, 771-778p

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