新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

著者名：研究代表者 畑朋延他の作品を見る

出版社：畑朋延

発売日：1999.3

iv, 168p 30cm

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