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微小電場における表面活性化現象を利用した超精密加工法の研究

微小電場における表面活性化現象を利用した超精密加工法の研究

書籍データ

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書(課題番号09450061)

著者名:研究代表者:中島利勝他の作品を見る

出版社:中島利勝

発売日:1999.3

22枚 30cm

ISBN:

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