デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

書籍データ

科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 : 平成7年度〜平成9年度

著者名：黒岩紘一研究代表者他の作品を見る

出版社：黒岩紘一

発売日：1999.3

122p 30cm

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