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窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

窒化ガリウムに対する絶縁ゲート構造の形成と界面特性評価に関する研究

書籍データ

平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

著者名:研究代表者 橋詰保他の作品を見る

出版社:北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

発売日:2002.3

56p 30cm

ISBN:

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