スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

著者名：研究代表者 中佐啓治郎他の作品を見る

出版社：広島大学大学院工学研究科

発売日：2003.3

58p 30cm

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