高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07458093

著者名：研究代表者 渡辺 征夫他の作品を見る

出版社：九州大学

発売日：1997.3

85p 30cm

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