選択成長法によるシリコン基板上への集積形窒化物半導体デバイスの作製に関する研究

書籍データ

平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

著者名：澤木宣彦[ほか著]他の作品を見る

出版社：者不明

発売日：2004.3

199p 30cm

ISBN：