LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成14-15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350021)

著者名：研究代表者 白谷正治他の作品を見る

出版社：九州大学

発売日：2004.5

ii, 98p 30cm

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