SOI(Silicon on Insulator)技術の調査 その1・2 ＜宇宙開発事業団契約報告＞

書籍データ

Investigation of SOI (Silicon on Insulator) technology

著者名：宇宙開発事業団編他の作品を見る

出版社：宇宙開発事業団

発売日：2001.12

33, 27p 30cm

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