代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 古屋謙治他の作品を見る

出版社：九州大学

発売日：2005.3

87p 30cm

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