最新シリコンデバイスと結晶技術

書籍データ

先端LSIが要求するウェーハ技術の現状

著者名：清水博文 編集委員長 ; 池田和子, 高田清司, 福田哲生 [編]他の作品を見る

出版社：リアライズ理工センター

発売日：2005.12

330, 8p 30cm

ISBN：4898080677