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高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション

高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション

書籍データ

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

著者名:研究代表者 遠藤勝義他の作品を見る

出版社:遠藤勝義

発売日:2004.4

116p 30cm

ISBN:

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