高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

書籍データ

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 芳井熊安他の作品を見る

出版社：芳井熊安

発売日：2004.5

21p 30cm

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