極低エネルギー電子による水素終端シリコン基板の表面修飾

書籍データ

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 尾浦憲治郎他の作品を見る

出版社：尾浦憲治郎

発売日：1999.3

115p 30cm

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