マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

著者名：研究代表者:辻裕一他の作品を見る

出版社：東京電機大学

発売日：1999.3

iii, 52p 30cm

ISBN：