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Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製 <科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書>

Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製 <科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書>

書籍データ

著者名:宮崎修一研究代表他の作品を見る

出版社:宮崎修一

発売日:2006.3

1冊 30cm

ISBN:

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