ウェハー上のマイクロ冷凍機 ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

書籍データ

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

著者名：研究代表者 久保田裕巳他の作品を見る

出版社：九州大学

発売日：2008.3

37枚 30cm

ISBN：