電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

書籍データ

平成8年度~平成9年度科学研究補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 田中啓司他の作品を見る

出版社：北海道大学大学院工学研究科

発売日：1998.3

76p 30cm

ISBN：