複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

書籍データ

平成7年度~平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 池田正幸他の作品を見る

出版社：北海道大学工学研究科

発売日：1998.3

vi, 30p 30cm

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