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10原子層程度の極めて薄い膜からなる多層膜の物性研究

10原子層程度の極めて薄い膜からなる多層膜の物性研究

書籍データ

平成6年度文部省科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書

著者名:研究代表者 廣田榮一他の作品を見る

出版社:北海道大学工学部

発売日:1998.11

iv, 110p 30cm

ISBN:

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