ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性

書籍データ

平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 17360369 Development of chemical vacuum pump using nitrogen absorption nano-materials

著者名：研究代表者 石原慶一他の作品を見る

出版社：[石原慶一]

発売日：2008.5

1冊 30cm

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