イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

書籍データ

平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

著者名：研究代表者 高橋平七郎他の作品を見る

出版社：北海道大学エネルギー先端工学研究センター

発売日：1997.3

56p 30cm

ISBN：