Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号07555409)

著者名：室田淳一研究代表者他の作品を見る

出版社：室田淳一

発売日：1998.3

156p 30cm

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