変形マグネトロン型プラズマ源の開発 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08558043)

著者名：佐藤徳芳研究代表者他の作品を見る

出版社：佐藤徳芳

発売日：1999.3

115p 30cm

ISBN：