高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305016)

著者名：南部健一研究代表者他の作品を見る

出版社：南部健一

発売日：2001.3

84p 30cm

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