逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究 ＜無機材質研究所研究報告書＞

書籍データ

著者名：科学技術庁無機材質研究所編他の作品を見る

出版社：科学技術庁無機材質研究所

発売日：1995.11

17p 30cm

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