反射高速電子回折・電子分光法による窒化チタン薄膜の高機能化に関する研究 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

平成13年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号13650730)

著者名：粕壁善隆研究代表他の作品を見る

出版社：粕壁善隆

発売日：2003.5

1冊 30cm

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