光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長

書籍データ

平成2年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書(課題番号01550016)

著者名：研究代表者西野茂弘他の作品を見る

出版社：西野茂弘

発売日：1991

48p 26cm

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