MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリデバイスへの実用化研究

書籍データ

平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書(06555094)

著者名：塩嵜忠研究代表他の作品を見る

出版社：塩崎忠

発売日：1996.3

60p 30cm

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