SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

書籍データ

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号13555086)

著者名：宇佐美徳隆 研究代表者他の作品を見る

出版社：宇佐美徳隆

発売日：2003.3

60p 30cm

ISBN：