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SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究 <科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書>

SiGe混晶基板を利用した歪み制御Si系高機能電子デバイスに関する研究 <科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書>

書籍データ

平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号13555086)

著者名:宇佐美徳隆 研究代表者他の作品を見る

出版社:宇佐美徳隆

発売日:2003.3

60p 30cm

ISBN:

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